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1150℃三溫區(qū)管式爐
- 關(guān)鍵字：
- 8.5英寸、排膠爐、大口徑
- 型號(hào)：
- GSL-1100X-III-8.5T
- 產(chǎn)品概述：
- GSL-1100X-III-8.5T是一款通過(guò)CE認(rèn)證并采用UL標(biāo)準(zhǔn)制造的一款三溫區(qū)管式爐。該管式爐配備有8.5英寸的石英管和水冷法蘭，一塊觸摸屏控制溫度和真空度，操作簡(jiǎn)潔方便。最高工作溫度1150℃，真空度可以達(dá)到10-5 torr。該管式爐是一款理想的做退火，擴(kuò)散和CVD等的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 爐體結(jié)構(gòu)
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| 石英管尺寸
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| 加熱區(qū)
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總加熱區(qū)長(zhǎng)度： 900 mm (36")
三個(gè)區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12"每個(gè)加熱區(qū))
恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 750 mm (三個(gè)溫區(qū)可設(shè)置相同的溫度，誤差為+/- 2°C) 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員聯(lián)系
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| 工作溫度
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| 溫度控制
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| 真空泵系統(tǒng)
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| 真空系統(tǒng)及法蘭
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配備一對(duì)水冷密封法蘭（鉸鏈法蘭）
左法蘭配備：真空計(jì)和觸摸屏控制的電磁閥（用于控制爐內(nèi)氣氛環(huán)境）
右法蘭配備：KF40真空接口，用于連接真空泵接口上的電磁閥
法蘭外端配備一個(gè)外徑1/4"的熱電偶插口，用于方便進(jìn)行溫度校準(zhǔn)
爐子底部配備有一個(gè)16L/min水冷機(jī)，用于水冷法蘭的供水
  
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| 可選
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可以另配混氣系統(tǒng)用于CVD實(shí)驗(yàn)
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| 額定電壓
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單相, 220V AC, 50/60 Hz
包括AWG 8#電源線
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| 最大功率
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12KW (需50A的空氣開(kāi)關(guān) ) |
| 產(chǎn)品尺寸
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L 1700×W 750 × H1800mm
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| 凈重
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250Kg |
| 質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（爐管，密封圈，加熱元件易耗件除外） |
| 質(zhì)量認(rèn)證
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| 使用注意事項(xiàng)
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爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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