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臺(tái)式四探針電阻率測(cè)試儀
型號(hào)：
M-5
產(chǎn)品概述：
M-5臺(tái)式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試材料電阻率/方塊電阻的多用途、高性?xún)r(jià)比測(cè)量?jī)x器。廣泛適用于半導(dǎo)體材料廠、科研單位、高等院校四探針?lè)▽?duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類(lèi)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。
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產(chǎn)品特征

測(cè)試儀由M-5型主機(jī)和四探針探頭以及快速恒壓四探針測(cè)試臺(tái)三部分組成


臺(tái)式設(shè)計(jì)，帶完善厚度、形狀修正功能，測(cè)試精準(zhǔn)


寬量程：超寬五個(gè)檔位，相當(dāng)于中檔臺(tái)式機(jī)的量程


操作簡(jiǎn)便、性能穩(wěn)定：輕觸數(shù)字化鍵盤(pán)實(shí)現(xiàn)參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換，LED數(shù)字表頭顯示


多款探頭可選，適用于各種不同材料的導(dǎo)電性能測(cè)試
工作電源

208-240V，50/60Hz


功率：20W
探頭

根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配：


碳化鎢探針探頭（固體材料）：φ0.5mm，探針間距1.0mm，測(cè)試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類(lèi)等硬質(zhì)材料（詳見(jiàn)圖1）


球形或平頭鍍金銅合金探針探頭（薄膜）：φ0.7mm，探針間距2mm，可測(cè)金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測(cè)陶瓷、玻璃或PE膜等基底      上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層（詳見(jiàn)圖2）


探頭頭部安裝有平衡基座避免人手操作的誤差（詳見(jiàn)圖3）

        

               圖1                                  圖2                                 圖3
選配

快速恒壓四探針測(cè)試臺(tái)，對(duì)測(cè)試壓力進(jìn)行調(diào)節(jié)保證恒壓測(cè)試，提高測(cè)試的精確度
測(cè)量范圍、分辨率

電阻：10-5～2*105Ω 分辨率：10-6～102 Ω


電阻率：10-5～2*105Ω-cm 分辨率：10-6～102 Ω-cm


方塊電阻：5*10-5～9*105Ω/m2  分辨率5*10-6～5*102Ω/m2
基本誤差

±1%FSB±2LSB
外形尺寸

220mm L × 245mm W × 100mm H
凈重

2.5kg
質(zhì)保期

一年保質(zhì)期，終生維護(hù)
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