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微型2通道混氣CVD真空管式爐 （配50mm石英管和防腐真空計(jì)）
關(guān)鍵字：
微型 二通道
型號(hào)：
OTF-1200X-S50-2F
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過(guò)CE認(rèn)證的可開(kāi)啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機(jī)械泵相連接（抽速為226L/m）。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供50段升溫和降溫程序，其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
高溫爐

殼體

· 采用雙層殼體

· 爐膛采用多晶氧化鋁纖維，最大程度減小能量損失

內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
功率

功率

1.75KW

電壓

 AC -220V 

溫度

· 最高工作溫度：1200℃（< 1hr）

· 連續(xù)工作溫度1100 ℃

升溫速率 <= 10C/min

爐管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加熱區(qū)


加熱區(qū)長(zhǎng)度: 8" (200mm)

溫控系統(tǒng)

· 50段程序化控溫

· 控溫精度: +/- 1℃  

控溫儀表操作視頻

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，使其最大程度延長(zhǎng)使用壽命）
兩路混氣系統(tǒng)

· 兩個(gè)浮子流量計(jì)量程為16 —100mL/min 

· -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)

· 三個(gè)機(jī)械壓力表：-0.1-0.15 MP

· 混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥

· 后端裝有φ6.35卡套接頭，無(wú)需通電

· 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").

· 凈重: 14 lbs.

             
真空法蘭和配件

結(jié)構(gòu) 
                           
         
標(biāo)準(zhǔn)真空配件:

· 一個(gè)防腐型真空計(jì)

· 一個(gè)φ6.35的卡套接頭

· 兩個(gè)KF25轉(zhuǎn)接頭

一個(gè)600mm的不銹鋼波紋管
防腐型真空計(jì)

本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
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真空泵

我公司有多種真空泵可選，請(qǐng)點(diǎn)擊圖片，或是致電我公司銷(xiāo)售
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產(chǎn)品凈重

100 lbs
產(chǎn)品尺寸

· 爐體:340 x 300 x 400mm

· 真空泵:440 x 160 x 300mm

混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm
運(yùn)輸重量

 200lbs
開(kāi)門(mén)斷電

為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)
              
質(zhì)保期

一年質(zhì)保期（不包括爐管、硅膠O型圈和加熱元件等損耗件）
質(zhì)量認(rèn)證

若客戶(hù)出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

     
使用注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

· 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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公司環(huán)境

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