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1200℃1英寸雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)
- 關鍵字：
- 1英寸 雙溫區(qū)
- 型號：
- OTF-1200X-S25-II-SL
- 產(chǎn)品概述：
- OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)。它由帶快速鏈接法蘭的小型雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制器、真空泵三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫；觸屏式三路質(zhì)子流量器，能夠精確控制系統(tǒng)的供氣；真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
| OTF-1200X-S25-II?-SL管式爐
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爐體結(jié)構(gòu) | · 采用雙層殼體并帶有風冷系統(tǒng)
· 爐底安裝一對滑軌，可滑動，內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 | 爐管尺寸 | Φ25×1000mm | 功率 | 1.2kW | 輸入電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | 加熱元件 | Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金） | 最高溫度 | 最高1200℃ 額定溫度 1100℃ | 升溫速率 | ≦10℃/min（推薦） | 加熱區(qū)長度 | · 兩個加熱區(qū)的長度都是100mm
· 分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制 | 控溫精度 | ±1℃ | 快速連接法蘭 | · KF25不銹鋼真空法蘭
· 打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便
· 另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架 |
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| 真空系統(tǒng)（多種真空系統(tǒng)可選請點擊這里)
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殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm | 最大承載量 | 1000 Lbs | 抽氣速率 | · 3L/S
· 極限真空度：10-1Pa
· 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接 | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | 功率 | 550/400W（單相/三相） |
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| 三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)（多路質(zhì)子流量器可選，詳情請點擊這里）
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針閥材質(zhì) | 316不銹鋼 | 工作溫度 | 5～45℃ | 外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | 電壓 | AC220V/50Hz單相 | 功率 | 23W |
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| 質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件
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| 質(zhì)量認證
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· 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CSA認證
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| 使用注意事項
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· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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