| 設(shè)備名稱 | 2200℃高溫頂部籽晶溶液生長(zhǎng)爐 |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | · 采用高頻感應(yīng)加熱系統(tǒng)進(jìn)行加熱，控溫系統(tǒng)采用歐陸儀表PID控溫，控溫精度可達(dá)±0.1℃ · 石英腔體配合法蘭進(jìn)行密封，可以實(shí)現(xiàn)在真空和氣氛保護(hù)下運(yùn)行 · 含有真空密封旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)便于用戶操作 |
| 加熱系統(tǒng) | · 工作電壓: 三相380VAC ，50Hz (需配60A空氣開關(guān)） · 加熱電流:3-28A (需配60A空氣開關(guān)） · 最大輸入功率: 15KW · 振蕩頻率: 20-100KHZ （固定頻率） · 感應(yīng)線圈: 220mm(ID) x 65mm(H) · 空氣冷卻: 后風(fēng)扇 · 保護(hù)系統(tǒng)：帶有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù) |
| 控溫系統(tǒng) | · 采用歐陸儀表Eurotherm控制溫度，控溫精度可以達(dá)到±0.1℃； · 最高加熱溫度：2200℃（＜1小時(shí)） · 長(zhǎng)期使用溫度：2000℃
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| 石英腔體和密封法蘭系統(tǒng) | · 采用石英腔體作為實(shí)驗(yàn)環(huán)境，上下兩端不銹鋼密封法蘭，保障了石英腔室的密封 · 石英管尺寸：φ216mm(OD)*φ206mm(ID)*500mm(H) · 法蘭采用氟膠密封圈密封 · 石英管外安裝有金屬防護(hù)罩，防護(hù)罩上面有觀察窗口，便于觀察石英管內(nèi)部晶體的生長(zhǎng)情況。 |
| 石墨坩堝和保溫材料 | · 高純石墨坩堝: 114 mmOD x 100 mm ID x 142mm Height, · 最大容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的2/3，可生長(zhǎng)直徑φ2”*高度100mm以下的單晶晶體； · 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層石墨氈隔熱材料，從里到外分別為三層石墨氈，總厚度為45mm， 石墨保溫毯（可耐溫2200℃）注意: 石墨坩堝是易耗件
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| 提拉機(jī)構(gòu) | 采用伺服電機(jī)提拉系統(tǒng) （提拉速度更為均勻穩(wěn)定，改善單晶生長(zhǎng)質(zhì)量） ? 提拉速度：0.8-50mm/h ? 提拉桿轉(zhuǎn)速：0.1-23r/min ? 快速升降速度：40mm/min 上部提拉密封系統(tǒng)，采用真空波紋管密封，可以實(shí)現(xiàn)在真空密封環(huán)境下進(jìn)行提拉法生長(zhǎng)晶體；
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| 石墨坩堝旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) （選配） | · 放置物料的石墨坩堝可以根據(jù)客戶的需要，選配旋轉(zhuǎn)功能 · 坩堝旋轉(zhuǎn)速度：0.1-23 r/min（可調(diào)） · 坩堝旋轉(zhuǎn)方向與上部提拉桿旋轉(zhuǎn)方向相反 · 坩堝旋轉(zhuǎn)可以確保物料加熱過程中更加均勻 |
| 真空系統(tǒng)（選配） | · 機(jī)械泵：無油干泵或油泵 · 型號(hào)：nXDS15i · 理論抽氣速率：17.1 m3/h · 極限真空度：0.8 Pa（不帶負(fù)載） · 2 Pa(帶石英腔體負(fù)載狀態(tài)) · 泄露率（pa·m3/s）：＜1×10-7 · 電機(jī)功率：300W · 額定轉(zhuǎn)速：1800rpm · 外形尺寸：450×300×320（L×W×H） · 分子泵型號(hào)：FF-160/700 · 極限壓強(qiáng)：6×10-7 Pa（不帶負(fù)載） · 啟動(dòng)時(shí)間：＜4min · 額定轉(zhuǎn)速：36000轉(zhuǎn)/分 · 冷卻方式:：風(fēng)冷/水冷 · 抽氣口接口尺寸：KF40
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| 產(chǎn)品尺寸 | 設(shè)備尺寸：約長(zhǎng)*寬*高=1200L×1200W×2000Hmm
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| 重量 | 約200kg |
| 保質(zhì)期 | 1年（不包含石英管，O型密封圈圈和加熱元件等損耗件） |
| 使用注意事項(xiàng) | · 石英腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英腔體內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全， 建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱， 則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體， 請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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