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恒壓系統(tǒng)
型號(hào)：
GZK-PID-VRD24
產(chǎn)品概述：
GZK-PID-VRD24恒壓系統(tǒng)通過PID控制真空泵的轉(zhuǎn)速來控制抽氣速率，進(jìn)而獲得腔室壓力 的精密測(cè)量和恒壓控制，與我公司的管式爐/鍍膜儀等設(shè)備相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)CVD、PECVD等工藝的壓力恒定的精確控制，廣泛用于擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、混氣配氣系統(tǒng)及其他分析儀器中。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱型號(hào)

恒壓控制系統(tǒng)GZK-PID-VRD24 (科晶實(shí)驗(yàn)室、科晶技術(shù)部2022.6.15審核）
產(chǎn)品特點(diǎn)

· PLC、觸摸屏控制，觸摸屏顯示真空度及各項(xiàng)工作狀態(tài)，一鍵式操作，方便快捷。

· 通過變頻器來PID調(diào)節(jié)真空泵的電機(jī)轉(zhuǎn)速從而控制抽氣速率，使抽氣速率與進(jìn)氣量、漏氣率相匹配，從而達(dá)到精確的恒壓控制

· 600*600的承重臺(tái)面，可配合科晶其他設(shè)備使用，節(jié)省空間
真空泵

· 型號(hào):VRD-24

· 電源：220V 50/60HZ

· 進(jìn)氣口：KF25

· 抽速：50HZ:6.6L/S

      60HZ:7.9L/S

· 功率：50HZ:1.1KW

      60HZ:0.75KW

· 極限真空：4*10-1Pa（不帶負(fù)載）
變頻器

· 輸入：AC220V

· 輸出：3*AC380V
數(shù)顯防腐真空計(jì)

· 型號(hào)：PGC-554  

· 電源：DC24V

· 測(cè)量范圍：3.8E-5-1125torr


圖片1.png
操作面板

圖片2.png



界面上帶真空顯示值和設(shè)定值，一鍵式操作，方便快捷
壓力恒定控制范圍

壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進(jìn)氣量為500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進(jìn)氣量為300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進(jìn)氣量為100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進(jìn)氣量為50sccm）

壓力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）

                  ＞2.5torr-----10torr（±%40）

                  ＞10 torr------200torr（±%5）
外形尺寸

600*600*700mm


圖片3.png
重量

98KG
保質(zhì)期

1年（不包含爐管，硅膠O型圈和加熱元件等損耗件）
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附件

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