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混合式PVD鍍膜儀（連接手套箱，2英寸射頻濺射儀+2源蒸發(fā)鍍膜儀）
型號：
VTC-H3-GB
產(chǎn)品概述：
VTC-H3-GB是一款特殊的PVD鍍膜系統(tǒng)（鍍膜儀與手套箱相連接），設(shè)備組成主要有RF等離子濺射儀濺射頭和2個蒸發(fā)源，設(shè)備主要用于固態(tài)電池探索。RF等離子濺射主要用于在電池正極極片上鍍上固態(tài)電解質(zhì)，一個蒸發(fā)源用于將金屬鋰蒸鍍到電解質(zhì)膜上，另一個蒸發(fā)源將金屬銅蒸鍍到金屬鋰層上。
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電源

·AC 208-240V 單相 50/60 Hz

·功率；1.5 KW (手套箱); 2.5 KW ( 鍍膜儀)

·總功率:  4.0 KW
手套箱

·腔體尺寸: 1200 mm L x 740 mm W x 900 mm H

·手套箱內(nèi) O2 & H2O 含量小于1PPM

·腔體材料: 304 不銹鋼，厚度3mm

·手套箱前倉門可開啟

圖片1.png
真空腔體和樣品臺

·鍍膜儀真空腔體采用SS304不銹鋼制作，安裝在手箱底部

·頂部法蘭采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm，可手動開啟

·2個使用觀察窗口安裝在腔體上

·等離子濺射頭和2個蒸發(fā)加熱源安裝在真空腔體底部

·一個可加熱旋轉(zhuǎn)樣品安裝在頂部法蘭上，最大可安裝直徑4英寸樣品。

·樣品臺旋轉(zhuǎn)速度: 5 rpm

·一個旋轉(zhuǎn)擋板安裝在法蘭底部，避免蒸發(fā)源和濺射頭之間相互污染

圖片2.png
射頻濺射電源&濺射頭

·濺射電源：頻率13.5MHz,300W,自動匹配功能

·一個2英寸的濺射頭（帶水冷卻管道），安裝在真空腔體上

·一個流量16L/min的循環(huán)水冷機安裝在手套量底部

·RF濺射儀可濺射導(dǎo)電和非導(dǎo)電材料
熱蒸鍍

·2個鎢線圈加熱源，帶有2個B型熱電偶和氧化鋁坩堝，安裝在真空腔體內(nèi)（圖1）

·1個控溫儀表，控溫精度±1℃，可設(shè)置30段溫度段（圖2）

·一個電源轉(zhuǎn)化按鈕，用于在2個加熱源之間轉(zhuǎn)化加熱

·工作溫度:  200oC - 1700oC

·建議加熱速率:  0.3 oC/s (RT-1200 oC) 和 15 oC/s  (1200oC - 1700 oC)

·配有4個氧化鋁坩堝和2個鎢絲加熱圈

圖片5.png 圖片6.png

      圖1                                                             圖2
真空泵

·KF25接口用于連接真空泵

·最大真空度可達(dá)10-4Pa(采用分子泵系統(tǒng)）

·一個防腐型數(shù)字真空計安裝在真空腔體上

·可在本公司選購各種真空泵

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薄膜測厚儀

·真空腔體內(nèi)安裝有一個高精度薄膜測厚儀，可實時監(jiān)測薄膜厚度

·測量精度:   0.1 ?       

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