| 規(guī)格型號(hào) | ·1200℃六通道高潔凈氫氣爐 GSL-1200X-MGI-6-H2 |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ·采用不銹鋼腔體包裹保溫材料，保證爐內(nèi)較高潔凈度 ·爐管和腔體夾層內(nèi)（保溫層）通入惰性氣體，在使用氫氣時(shí)如果爐管破裂氫氣逃逸到夾層內(nèi)，不會(huì)產(chǎn)生爆炸，使用氫氣時(shí)設(shè)備更加安全 ·可同時(shí)放入6個(gè)樣品，在不同溫度下進(jìn)行熱處理 ·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，表面涂有氧化鋁涂層，可提高爐膛加熱效率，延長爐膛使用壽命。 ·雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可保證殼體表面溫度較低。 ·可選配裝壓力傳感器和電磁泄壓閥，具備自動(dòng)恒、壓超壓泄壓功能，確保設(shè)備更加安全
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| 應(yīng)用背景 | ·在清潔室內(nèi)熱處理半導(dǎo)體元件（氫氣氣氛）
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| 加熱爐基本參數(shù) | · 電源電壓 AC三相380V 50/60HZ， · 最大功率:48KW · 最高溫度1200℃（≤30min） · 長期工作溫度：1100℃ · 控溫?zé)犭娕?K型 · 加熱區(qū)長度700mm · 升溫速率：≤10℃/min · 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁電阻絲
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| 溫控系統(tǒng) | · 溫控模塊+PC機(jī)控制方式，標(biāo)配一套控溫軟件 · 六個(gè)通道獨(dú)立控溫,可以一鍵六個(gè)通道升溫或停止，單個(gè)通道也可以單獨(dú)控制。 · 包含一款858P 型溫度控制器（也可以選配歐陸儀表恒溫精度可達(dá)±0.1℃） · PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)。 · 智能化50段可編程控制。 · 默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口。 · 控溫精度：±1℃。 · 所有的電氣元件都通過UL或MET認(rèn)可，并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測(cè)試
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| 不銹鋼密封法蘭系統(tǒng) | ·六套水冷法蘭，材質(zhì)：304不銹鋼 ·密封方式：采用法蘭壓緊O型圈方式 ·前端法蘭采用KF60卡箍形式方便取放樣品，裝有機(jī)械壓力表，截止閥，G1/4進(jìn)氣口 ·后端法蘭留有KF25抽氣口，出氣口和截止閥 · 每個(gè)通道有獨(dú)立的進(jìn)氣和出氣口，可實(shí)現(xiàn)真空和氣氛下燒結(jié)制備
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| 供氣系統(tǒng) | ·標(biāo)配有6個(gè)獨(dú)立的進(jìn)氣口，通過6個(gè)40-400ml/min浮子流量計(jì)進(jìn)行氣流量調(diào)節(jié)，從左邊出氣然后和法蘭進(jìn)氣口連接。如下圖 ·如果需要更精確流量，請(qǐng)選擇質(zhì)量流量控制器供氣系統(tǒng)
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| 控制系統(tǒng) | ·通過PC機(jī)可以設(shè)置升--恒--降溫曲線 ·腔體內(nèi)壓力，真空度，溫度都可以在PC機(jī)上實(shí)時(shí)顯示 ·通過軟件可以設(shè)置管式爐的清洗模式：手動(dòng)清洗和自動(dòng)清洗， 自動(dòng)模式為真空泵和進(jìn)氣系統(tǒng)自動(dòng)切換工作，可設(shè)定清洗次數(shù) ·通過軟件設(shè)置恒壓燒結(jié)模式：在加熱爐升溫的過程中，選擇恒壓模式，控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量，使加熱爐在升溫的過程中保持在微正壓的狀態(tài)。（恒壓范圍100000pa-115000pa） ·實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可以進(jìn)行保存，記錄，下載，也可以生成工藝曲線保存，下次實(shí)驗(yàn)時(shí)調(diào)取
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| 過壓保護(hù) | 兩種過壓保護(hù)措施： ·可選配電子壓力變送器，設(shè)定排氣壓力，高于排氣壓力，排氣閥打開加速泄氣； ·標(biāo)配安裝過壓機(jī)械排氣閥，設(shè)定開啟壓力（0.04mpa） ·可選裝氣體報(bào)警器，檢測(cè)到危險(xiǎn)氣體濃度過高可以自動(dòng)切斷氣源 ·可選裝與攝像頭手機(jī)等聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)智慧實(shí)驗(yàn)室管理。 |
| 爐管 | ·高純石英管尺寸： ·25 O.D x 19 I.D x 1200 L (mm) ·50 O.D x 44 I.D x 1200L (mm) ·60 O.D x 55 I.D x 1200 L (mm) ·為了獲得更高的工作溫度，可選用鎳基合金管，溫度可達(dá)1200℃ ·也可以選擇鋯合金管，耐堿性腐蝕，長期使用800℃
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| 可燃尾氣處理裝置（選配） | 如在氫氣環(huán)境下處理樣品可以選擇氫氣尾氣處理裝置參數(shù)如下： ·可適用多種可燃?xì)怏w的尾氣處理（制定氣體需提前和銷售溝通） ·體積小，安裝方便，操作簡單 ·內(nèi)部有電流互感器，檢測(cè)到電阻絲沒有加熱時(shí)，切斷進(jìn)氣和出氣 ·電源：AC單相220V 50/60Hz ·功率：200W ·兩路進(jìn)氣口，惰性氣體進(jìn)氣口（接氣源）和氫氣進(jìn)氣口（接氣源），進(jìn)氣為G1/4雙卡套接口 另外可選高通量版本，進(jìn)出氣口數(shù)量可定制 ·氣源接入后通過浮子流量計(jì)（浮子流量計(jì)量程0.1-1L/min）調(diào)節(jié)流量大小，通過G1/4雙卡套接頭輸出后接入管式爐進(jìn)氣口 ·可燃?xì)怏w從管式爐內(nèi)輸出后接入該設(shè)備可燃?xì)怏w進(jìn)氣口，接口為G1/4雙卡套接口 ·點(diǎn)火裝置：采用進(jìn)口電阻絲加熱點(diǎn)火，表面涂有氧化鋁涂層，減緩電阻絲氧化，裝有電流互感器，可以檢測(cè)電阻絲是否加熱。 ·點(diǎn)火異常切斷進(jìn)氣和出氣，以及加熱爐接觸器（接口預(yù)留，加熱爐進(jìn)行簡單改造） ·可外接氫氣濃度報(bào)警器，檢測(cè)到氫氣濃度報(bào)警自動(dòng)切斷進(jìn)氣及點(diǎn)火（接口預(yù)留），報(bào)警器選配
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| 氫氣探測(cè)器（選配） | · 有兩套氫氣探測(cè)器可供選擇： 一套為固定式，安裝在固定支架上面，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備氫氣的泄漏情況； 一套為便攜式，可以隨時(shí)對(duì)設(shè)備各個(gè)接口進(jìn)行監(jiān)測(cè)。 · 氫氣監(jiān)測(cè)范圍：1-1000ppm · 工作溫度：-20℃——60℃ · 報(bào)警點(diǎn)設(shè)置：氫氣報(bào)警器設(shè)置有兩個(gè)報(bào)警 第一級(jí)的報(bào)警點(diǎn)50ppm，一旦探測(cè)到氫氣濃度達(dá)到此值時(shí)，氫氣報(bào)警器將發(fā)出蜂鳴報(bào)警聲，提醒客戶檢查泄露點(diǎn)。 第二級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為100ppm，一旦探測(cè)到氫氣濃度到達(dá)此值時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)閉氫氣進(jìn)氣閥。
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| 真空度（選配） | · 標(biāo)配機(jī)械泵，三相VRD-36,真空度可以達(dá)到10-2 ttor · 配套分子泵，真空度可以達(dá)到10-5 ttor
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| 冷水機(jī)（選配） | · 型號(hào)：CW-6300 · 電源：AC220V 50HZ · 功率：3.5KW · 工作電流：3.4~18.1A · 制冷量：26826 Btu/h · 水箱容量：40L · 出入水口： Rp1" · 泵最大水流速度：75L/min
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| 外型尺寸 | ·爐體長寬高：1875*1800*1400mm ·電氣柜長寬高：750*600*6800
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| 重量 | ·重量約:950KG |
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